半导体直冷机chiller

适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程，对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件（换热器）换热，从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体（气体）输送入换热器换热能力更高，这样特别适用于换热器换热面积小，但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用，将制冷剂直接通入捕集器蒸发，通过捕集器表面冷凝效应，迅速捕集空间中的气体