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AET系列热流仪

AET系列热流仪

产品介绍

压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机,内置有⼲燥器,预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下,进⾏制冷加热控温输出稳定流量压⼒恒温的⽓体,对⽬标对象进⾏控温(如各类控温卡盘、腔体环境、热承板、料梭、腔体、电⼦元件等),可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温,⾃动调节输出⽓体的温度。

AET系列热流仪-冠亚恒温

应用行业

AET系列热流仪-冠亚恒温

广泛应用于:芯片,微电子器件,集成电路、闪存Flash、传感器、 小型模块组件光通讯、航空航天新材料等

性能分析、高低温温变测试、 温度冲击测试、失效分析等可靠性试验;

AET系列热流仪-冠亚恒温AET系列热流仪-冠亚恒温

AET系列热流仪-冠亚恒温

型号 AET-4025 / AET-4025C AET-4050 / AET-4050C AET-4095W / AET-4095WC AET-7025 / AET-7025C AET-7050W / AET-7050WC AET-7095W / AET-7095WC
温度范围  -40℃~250℃  -75℃~250℃
控温精度 气体出口控温士0.1°C,远距离工艺过程温度控温精度士0.5°C可选择控制出口气体温度和工艺目标过程温度
升级温速率 设备出口气体温度升降温速率大于30°C/min,可做梯度升降温
空气要求 空气滤清器<5um 空气含油量<0.1um 空气温湿度:5°C-32℃℃ 0-50%RH 压力4bar~8bar
空气处理 22m³/h 50m³/h 95m³/h 22m³/h 50m³/h 95m³/h
节流方式 制冷系统采用电子膨胀阀节流,精准控制冷量
控制器 PLC可编程控制器,标配支持ModbuSRTU协议,RS485接口,可选择其他通信协议
显示记录 7寸彩色触摸屏,可显示气体温度、压力、流量,制冷系统压力温度
过程控温 自创无模型自建树算法与一般抗滞后串级算法相结合,控制工艺过程温度
尺寸cm 43*46*112 52*57*132 60*63*160 54*69*112 65*85*132 75*95*160
备注 后缀W代表水冷后缀c代表气体循环利用

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